中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司（以下簡稱 “公司”）創(chuàng)建于1958年，前身為中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心。園區(qū)位于遼寧省沈陽市渾南區(qū)，占地面積110畝，建筑面積3.5萬平方米。多年來，公司專注于高真空、超高真空、超潔凈真空技術(shù)的研究和發(fā)展，是我國集成電路裝備和真空儀器設(shè)備的研制、生產(chǎn)基地，先后組建“國家分子束外延技術(shù)試驗基地”、“國家真空儀器裝置工程技術(shù)研究中心”和“真空技術(shù)裝備國家工程實驗室”等科研平臺。

沈陽科儀怎么樣？公司主要從事干式真空泵、真空儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，并提供相關(guān)技術(shù)服務(wù)。公司產(chǎn)品主要包括系列羅茨干泵、系列渦旋干泵、大科學(xué)裝置、真空薄膜儀器設(shè)備和新材料制備設(shè)備等。公司承擔(dān)了國家“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”（“02專項”）、“高檔數(shù)控機床與基礎(chǔ)制造裝備”（“04”專項）、“國家重點研發(fā)計劃”等科技專項，并通過自主研發(fā)創(chuàng)新實現(xiàn)了國產(chǎn)干式真空泵在集成電路領(lǐng)域的批量應(yīng)用，打破了歐美及日本企業(yè)對同類產(chǎn)品的長期壟斷，實現(xiàn)了關(guān)鍵裝備的進口替代。先后獲得國家科技進步獎六項，中國科學(xué)院及省部級科技進步獎二十項，擁有專利七十一項，被認(rèn)定為國家高新技術(shù)企業(yè)、國家知識產(chǎn)權(quán)優(yōu)勢企業(yè)、遼寧省技術(shù)創(chuàng)新示范企業(yè)、遼寧省創(chuàng)新型中小企業(yè)、遼寧省省級企業(yè)技術(shù)中心、沈陽市科技領(lǐng)航型企業(yè)、沈陽市科技小巨人企業(yè)等。

公司設(shè)立有2個全資子公司——上海上凱儀真空技術(shù)有限公司、中科儀（南通）半導(dǎo)體設(shè)備有限責(zé)任公司；1個分公司——中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司上海分公司。